| 摘要 |
<p>본 고안은 여러 배율의 렌즈를 절환시킬 수 있는 웨이퍼 정렬장치의 저고배율 절환장치에 관한 것으로서, 반도체의 웨이퍼 정렬 장치에 있어서, 웨이퍼에 형성된 마크의 위치를 관찰할 때 사용되며 대안렌즈(23)를 설치한 저고배 절환틀(20)을 구비하는 저고배율 절환장치에 있어서, 상기 대안렌즈(23)에 대응하는 배율의 렌즈를 다수 구비한 원판형의 다단 저고배 절환판(100)과, 상기 다단 저고배 절환판(100)을 지지하여 선택적으로 회전시키며 상기 절환틀(20)에 고정되어 있는 구동장치(130)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 고안에 따른 저고배율 절환장치를 사용하면, 배율 변환에 의해 웨이퍼 마크의 상태 관찰이 용이해져 웨이퍼를 정밀하게 정렬시킬 수 있는 효과가 있다.</p> |
