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<p>탄성 표면파 기능 소자는 압전체 기판 또는 압전성 박막 기판 상에 반도체층을 구비하고, 상기 기판 상을 전파하는 탄성 표면파와 반도체층 중의 전자의 상호 작용을 이용하거나, 상기 반도체층을 탄성 표면파가 전파하는 전파로 상의 외측에 배치하고, 전파로 상부에 대해 직각 방향으로 복수의 그레이팅 전극을 구비하고, 게다가 반도체층이 활성층과 이 활성층에 격자 정합하는 완충층을 구비한다. 이 탄성 표면파 기능 소자를 이용하여 실용적인 저전압에서의 높은 증폭도가 얻어지는 탄성 표면파 증폭기나, 이제까지 없던 높은 효율을 갖는 탄성 표면파 콘벌버 등이 제공된다.</p> |
