| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 칩 검사장치에 관한 것으로, 반도체 칩(C)의 패드(P)에 접촉되는 검사 지침(11)의 일단부에 검사 지침(11)과 검사하고자 하는 패드(P)의 접촉 여부를 감지하는 센서(21)를 부착하고, 상기 검사 지침(11)을 지지하는 지침 홀더(12)에는 상기 센서(21)에서 검출된 신호를 전달받아 제어하는 제어부(22)를 설치하며, 상기 지침 홀더(12)의 상면에는 상기 검사 지침(11)이 패드(P)에 접촉하였을 경우 상기 센서(21)의 검출 신호에 따라 발광하게 되는 발광 램프(23)를 설치함으로써, 검사 지침(11)이 패드(P)에 접촉하면 상기 검사 지침(11)에 부착된 센서(21)로부터 전달된 신호에 따라 발광 램프(23)가 발광하게 되어 작업자는 신속하게 검사 작업을 진행할 수 있으므로 생산성을 향상시키게 되며, 아울러 검사 지침(11)에 과도한 힘을 부여하여 검사 지침(11) 및 패드(P)에 손상을 입히는 것을 방지함으로써 비용을 절감하게 된다.</p> |
