发明名称 Apparatus for spraying a wet etchant
摘要 본 고안은 습식 식각액 분사 장치를 개시한다. 개시된 본 고안은, 식각액이 분사되어 식각이 실시되는 피식각체의 면적과 대응되는 면적을 갖는 상부 분사 몸체가 피식각체의 상부에 배치된다. 상부 분사 몸체의 상부면 중앙에는 식각액이 제공되는 인입구가 형성되고, 하부면에는 식각액이 분사되는 복수개의 예비 분사공이 일정 등간격으로 종횡으로 형성된다. 상부 분사 몸체의 면적과 동일한 면적을 갖는 하부 분사 몸체가 상부 분사 몸체의 하부면에 설치된다. 하부 분사 몸체의 하부면에는 상부 분사 몸체의 예비 분사공보다 크기가 작은 메인 분사공이 예비 분사공의 종횡폭보다 조밀한 간격으로 형성된다.
申请公布号 KR20000019710(U) 申请公布日期 2000.11.25
申请号 KR19990006413U 申请日期 1999.04.19
申请人 null, null 发明人 박철희;양승길
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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