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发明名称
摘要
申请公布号	JP3111942(B2)	申请公布日期	2000.11.27
申请号	JP19970280893	申请日期	1997.10.14
申请人		发明人
分类号	G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
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