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发明名称 DIGITAL DIRECT WRITE ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 KR20000070813(A) 申请公布日期 2000.11.25
申请号 KR19997007076 申请日期 1999.08.05
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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