METHOD AND DEVICE FOR WASHING ELECTRONIC PARTS MEMBER OR THE LIKE
摘要
<p>본 발명은 전자부품 부재류의 세정방법 및 세정장치에 관한 것으로서, 실리콘 웨이퍼 등의 전자부품 부재류를 세정수로 세정하고, 이 세정수는 초순수에 수소가스 또는 오존 가스를 용해시킨 것으로, 음 또는 양의 산환 환원 전위를 갖고, 이와같은 세정수에 의해 세정력이 상승되며, 또 세정수의 pH를 조정하는 것에 의해 세정을 더욱 효과적으로 할 수 있다.</p>
