| 摘要 |
본 발명은 탄성표면파 필터 및 그의 제조방법에 관한 것으로서, 탄성표면파 필터를 복수의 전극 핑거, 전극 핑거를 공통으로 접속하는 버스 바, 버스 바에 접속된 전극패드 등을 구성하는 도체막이 압전성 기판상에 형성되는 방식으로 구성하고, 이와 같은 구성의 탄성표면파 필터 소자를 고주파대역에 이용하는 경우, 도체막의 두께와 전극의 선폭이 감소하여 기계적인 강도가 중요한 문제로 되기 때문에, 본 발명에서는 도체막을 예를 들어 탄탈과 알루미늄을 포함하는 층과, 이 층상에 형성된 알루미늄 또는 알루미늄을 주성분으로 하는 합금으로 이루어진 금속층의 2층 구조로 형성하고, 탄탈과 알루미늄의 조성비는 탄탈 함유량을 39% 내지 75%(원자백분율)의 범위내에 있도록 설정하여, 탄탈과 알루미늄을 포함하는 층상에 형성된 알루미늄 또는 알루미늄을 주성분으로 하는 합금으로 이루어진 층의 배향성이 개선되어 도체막의 강도가 증가되는 것을 특징으로 한다. |
