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经营范围
发明名称
SCHÄRFUNGSVERFAHREN FÜR EMISSIONSTELLEN DURCH OXYDATION BEI NIEDRIGER TEMPERATUR
摘要
申请公布号
DE69517700(T2)
申请公布日期
2000.11.23
申请号
DE19956017700T
申请日期
1995.11.02
申请人
MICRON TECHNOLOGY, INC.
发明人
CATHEY, A.
分类号
H01J9/02;(IPC1-7):H01J9/02
主分类号
H01J9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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