发明名称 Halbleiteranordnung mit die Inversion hemmenden Schichten mit einer Vielzahl von Höchstwerten für die Dotierungskonzentrationen entlang der Tieferichtung und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE69033516(T2) 申请公布日期 2000.11.23
申请号 DE19906033516T 申请日期 1990.06.12
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 TAGUCHI, MINORU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/761;H01L21/762;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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