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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Polieren von Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号 DE69703312(D1) 申请公布日期 2000.11.23
申请号 DE1997603312 申请日期 1997.03.19
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 FUKAMI, TERUAKI;SUZUKI, KIYOSHI;AZITO, TOSHIO
分类号 B24B57/00;B24B55/03;B24B57/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B55/03;B24B37/04;C02F1/42;C02F1/62 主分类号 B24B57/00
代理机构 代理人
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