一种新型湿敏传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种能够用于湿度测量的湿敏传感器的制造方法。采用溶胶－凝胶工艺,通过湿敏先体溶液的配制,在具有叉指电极陶瓷基片上,用提拉法镀膜,经过适当的热处理,可以制造LiCl/玻璃基复合薄膜型湿敏传感器,该类传感器可以在全湿范围内实现对湿度的测量,并且阻值适中,阻抗对湿度的线性度亦较好。该方法工艺简单,成本低。

主权项

该技术的突出特征是使用溶胶-凝胶工艺，将湿敏组元(氯化理)复合到以二氧化硅为主的基质玻璃溶胶中。其次，该技术采用提拉法在印有金叉指电极的陶瓷基板上镀膜。第三，薄膜干燥是室温自然干燥，或超临界干燥。第四，该技术是将薄膜在高温下热处理(400～650℃)0.5～2小时。要求保护的范围：1.利用溶胶-凝胶工艺，将氯化锂或四氧化三铁等湿敏组元复合到二氧化硅基玻璃中(玻璃组成为：SiO2：50～100％，Al2O3：0～50％，B2O3：0～50％；活性组元在玻璃中的含量为：10～50％)。