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发明名称
摘要
申请公布号 JP3111211(B2) 申请公布日期 2000.11.20
申请号 JP19920295825 申请日期 1992.11.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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