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发明名称 HOT PLATE AND METHOD OF PRODUCING THE SAME
摘要 A hot plate capable of uniformly heating objects, characterized in that a resistor having a thickness variation of +/- 3 mu m is formed on an insulator board.
申请公布号 WO0069219(A1) 申请公布日期 2000.11.16
申请号 WO2000JP02749 申请日期 2000.04.27
申请人 IBIDEN CO., LTD.;FURUKAWA, MASAKAZU;IDO, YOSHIYUKI 发明人 FURUKAWA, MASAKAZU;IDO, YOSHIYUKI
分类号 H01L21/00;H05B3/12;H05B3/14;H05B3/26;H05B3/68;H05B3/74;(IPC1-7):H05B3/16;H05B3/20 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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