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发明名称 Sensorkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE4310349(C2) 申请公布日期 2000.11.16
申请号 DE19934310349 申请日期 1993.03.30
申请人 INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH 发明人 RUF, ALEXANDER;ABRAHAM, MICHAEL;LACHER, MANFRED;ZETTERER, THOMAS;DIETRICH, THOMAS R.
分类号 B81B3/00;B81C1/00;G01B1/00;G01B7/34;G01B9/00;G01B9/04;G01L1/04;G01L1/24;G01L5/00;G01N27/00;G01Q20/02;G01Q60/38;G01Q70/08;H01J37/28;H01L21/302;(IPC1-7):G12B21/06 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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