| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Ultraschall-Drahtbondeinrichtung mit einem in Z-Richtung verfahrbaren und drehbaren Bondkopf (1), an dem mittels einer Transduceraufnahme (3) ein Ultraschall-Transducer (4) mit einem zugehörigen Bondwerkzeug (5) und einem Ultraschall-Schwingungserzeuger (6) befestigt ist, wobei die Transduceraufnahme (3) als in Z-Richtung federelastische viergelenkartige Parallelführung ausgebildet ist und wobei zwischen dem Bondkopf (1) und der Transduceraufnahme (3) eine Antriebsvorrichtung (21) vorgesehen ist, um die Transduceraufnahme (3) in Z-Richtung relativ zum Bondkopf (1) zu bewegen. Durch die Erfindung soll eine Ultraschall-Drahtbondeinrichtung mit einer Transduceraufnahme geschaffen werden, die einen besonders einfachen Aufbau besitzt, kostengünstig gefertigt werden kann und die eine einfache und schnelle Montage erlaubt. Erfindungsgemäss ist die Transduceraufnahme (3) aus einem Stück gearbeitet und umfasst eine Klemmvorrichtung (7) für den Ultraschall-Transducer (4), einen Befestigungsblock (8) zur Befestigung der Transduceraufnahme (3) am Bondkopf (1) sowie Festkörpergelenke (11).</p> |
