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发明名称 APPARATUS FOR LOADING WAFER IN SEMICONDUCTOR WAFER PROBER
摘要
申请公布号 KR200203848(Y1) 申请公布日期 2000.11.15
申请号 KR20000018132U 申请日期 2000.06.26
申请人 SEMICS INC. 发明人 KIM, JI SEOK;YU, WON SEEK;NA, HYUN CHAN
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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