发明名称 THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE AND A FABRICATION PROCESS THEREOF
摘要
申请公布号 KR100271440(B1) 申请公布日期 2000.11.15
申请号 KR19960041886 申请日期 1996.09.24
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 TAKIZAWA, YUTAKA
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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