发明名称 | 静电电容式传感器 | ||
摘要 | 一种静电电容式传感器,具备被相对配置为相互不接触,且使两者的间隙相应于被检测量的变化而变化的第1电极(10a、20b、10c、30)和第2电极(20a、20b、20c、20d),以及根据在这些第1和第2电极间形成的静电电容来计算上述被检测量的信号处理部分4,其特征是:第1电极具备因与第1电极平行的方向(x,y)上产生的定位误差而使与第2电极之间的相对面积增加的部分(12a、12b)和减少的部分(12b、14b),这些部分具有相同的面积。 | ||
申请公布号 | CN1273633A | 申请公布日期 | 2000.11.15 |
申请号 | CN99801122.3 | 申请日期 | 1999.06.08 |
申请人 | 株式会社山武 | 发明人 | 石仓义之 |
分类号 | G01L1/14;G01L9/12 | 主分类号 | G01L1/14 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
主权项 | 1.一种静电电容式传感器,具备:第1和第2电极,该二电极被相对配置为相互不接触,且使两者之间的间隙相应于被检测量的变化而变化;信号处理部分,分别连接到上述第1和第2电极上,且根据在上述第1和第2电极间形成的静电电容来计算上述被检测量,其特征是:上述第1电极,具备根据与上述第1电极平行的方向上产生的定位误差而使与上述第2电极之间的相对面积增加的部分和减少的部分;这些部分具有相同的面积。 | ||
地址 | 日本东京都 |