发明名称 SINGLE PASS DOUBLET MODE INTERGRATED CIRCUIT TESTER
摘要
申请公布号 EP0979417(A4) 申请公布日期 2000.11.15
申请号 EP19980919987 申请日期 1998.04.28
申请人 CREDENCE SYSTEMS CORPORATION 发明人 KUGLIN, PHILIP, T.
分类号 G01R31/28;G01R31/319;G01R31/3193;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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