发明名称 |
SINGLE PASS DOUBLET MODE INTERGRATED CIRCUIT TESTER |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0979417(A4) |
申请公布日期 |
2000.11.15 |
申请号 |
EP19980919987 |
申请日期 |
1998.04.28 |
申请人 |
CREDENCE SYSTEMS CORPORATION |
发明人 |
KUGLIN, PHILIP, T. |
分类号 |
G01R31/28;G01R31/319;G01R31/3193;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/28 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|