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发明名称 THERMOCOUPLE WITHIN THE BONDED SILICON WAFERS
摘要
申请公布号 KR200202589(Y1) 申请公布日期 2000.11.15
申请号 KR20000018006U 申请日期 2000.06.21
申请人 SUK, CHANG GIL 发明人 SUK, CHANG GIL;LEE, DONG SEOK;KIM, JUN TAE;LEE, JONG HYUN
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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