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发明名称 method for dry-etching a titanium-nitride containing multilayer
摘要
申请公布号 GB2349980(A) 申请公布日期 2000.11.15
申请号 GB20000008753 申请日期 2000.04.10
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 MITSUTAKA * IZAWA
分类号 H01L21/302;C23F4/00;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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