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发明名称
摘要
申请公布号
JP2000515258(A)
申请公布日期
2000.11.14
申请号
JP19980506232
申请日期
1997.07.15
申请人
发明人
分类号
G10H3/18;H01L41/09;(IPC1-7):G10H3/18
主分类号
G10H3/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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