发明名称
摘要
申请公布号 JP2000515258(A) 申请公布日期 2000.11.14
申请号 JP19980506232 申请日期 1997.07.15
申请人 发明人
分类号 G10H3/18;H01L41/09;(IPC1-7):G10H3/18 主分类号 G10H3/18
代理机构 代理人
主权项
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