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发明名称
ULTRA-PRECISION THREE-AXIS STAGE FOR USE OF ATOMIC FORCE MICROSCOPY
摘要
申请公布号
KR100280870(B1)
申请公布日期
2000.11.13
申请号
KR1019980023942
申请日期
1998.06.24
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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