发明名称 ULTRA-PRECISION THREE-AXIS STAGE FOR USE OF ATOMIC FORCE MICROSCOPY
摘要
申请公布号 KR100280870(B1) 申请公布日期 2000.11.13
申请号 KR1019980023942 申请日期 1998.06.24
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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