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发明名称
摘要
申请公布号	JP3107582(B2)	申请公布日期	2000.11.13
申请号	JP19910061785	申请日期	1991.03.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/8234;H01L21/336;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823	主分类号	H01L21/8234
代理机构		代理人
主权项
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