发明名称 线接合方法
摘要 提供一种可对窄小电极间隔之半导体装置施行线接合之线接合方法。对与电极31、32....3N之第l接合点相对应之引线41、42......4N的第2接合点分别实施线接合,其采行之接合顺序,系被设成自电极31、32....3N之列之电极31起开始,顺序实行接合直至之电极3N/2,接着自前述列之另端电极3N开始以与前述相反之方向将该列之剩余之接合点做线接合者。
申请公布号 TW411541 申请公布日期 2000.11.11
申请号 TW087103252 申请日期 1998.03.06
申请人 新川股份有限公司 发明人 高桥邦行;持田亨;三井龙成;山崎信人
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 林镒珠 台北市长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种线接合方法,其系将第1接合点与第2接合点间以线作接续者,其特征在于:对与形成为直线状之列之配置成略等间隔之多数第1接合点成相对应的前述第2接合点,分别实行线接合,而其线接合顺序,系被设成自前述列之一端开始,朝中央方向顺序接合,在接合至略中央部后,自前述列之另端朝与前述相反之方向,开始对该列之剩余之接合点实行线接合者。2.依申请专利范围第1项所述之线接合方法,其中前述接合顺序,系由接合开始前根据接合装置之控制装置之记忆手段中所记忆之前述第1接合点与前述第2接合点之座标资料配列,以前述控制装置之演算手段作自动设定所成者。3.依申请专利范围第1项所述之线接合方法,其中,顶点附近之线回路形状系较第1接合点与第2接合点所连成之直线稍向接近前述列之端点方向作弯曲者。4.依申请专利范围第1项所述之线接合方法,其包括:对第1接合点作线接续之工程;与接着将毛细管上昇少许,然后将朝向第2接合点之相反方向作稍稍移动之反向动作中之至少一次之反向动作,设成朝向与第2接合点相反之方向,稍微朝接近前述列之端点之方向,将毛细管偏置移动的工程。5.依申请专利范围第4项所述之线接合方法,其中朝向与第2接合点相反之方向,稍微朝接近前述列之端点之方向,将毛细管偏置移动的反向动作的移动量,为由接合开始前根据接合装置之控制装置之记忆手段中所记忆之前述第1接合点与前述第2接合点之座标资料配列,以前述控制装置之演算手段作自动设定所成者。图式简单说明:第一图为本发明之线接合方法之一实施型态之平面说明图。第二图为电极列之中央部份之接合状态之说明图。第三图为本发明之线接合方法之一实施型态之毛细管轨迹,(a)为俯视说明图,(b)为正视说明图。第四图为线接合之半导体装置之俯视图。第五图为习知之线接合方法之各工程之毛细管移动所构成之线形状之说明图。第六图为电极之间隔较宽时之线接合时之毛细管与邻接之线回路之关系之示意图,(a)为自第1接合点之方向观看之说明图,(b)为(a)之侧视图。第七图为电极之间隔较窄时之接合时之毛细管与邻接之线回路之关系图,(b)为(a)之侧视图。第八图为习知之线接合方法之说明图。
地址 日本