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发明名称
APPARATUS FOR CLEANING PIPE ARRANGEMENT OF SEMICONDUCTOR WAFER DEPOSITION EQUIPMENT
摘要
申请公布号
KR100280467(B1)
申请公布日期
2000.11.10
申请号
KR1019980013471
申请日期
1998.04.15
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
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