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<p>Zur Behandlung von Oberflächen werden ein neues Verfahren sowie eine Vorrichtung vorgestellt, wobei ein Oberflächenbereich definierten Druck- und Temperaturbedingungen ausgesetzt wird und gleichzeitig zumindest ein Teil des Bereiches durch ein vergrößerndes optisches System kontrollierbar ist. Abbdildung (6) zeigt eine einfache Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Zwischen dem optischen System (4) und dem Oberflächenbereich (1) ist eine zumindest in Richtung des Strahlenganges transparente Druckkammer (5) angeordnet, deren dem Oberlfächenbereich zugewandter, die Frontwand umfassender Teil zur Druckübertragung beweglich ausgefürht ist. Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann vorteilhaft auf eine x/y-Tisch befestigt sein. Ein elektronischer Regelkreis, welcher beispielsweise Signale eines Drucksensors (13) zu Stellbefehlen für in der Druckmedienleitung (7) vorgesehene Druckventile (8, 9) verarbeitet, ist mit dünnen Linien angedeutet. Die Druckmedienleitung mündet über Anschlußstutzen (10) in die Druckkammer (5). Die Frontwand kann zweckmäßig selbst beweglich aus zwei flexiblen, mit zwei Dichtungsringen (21a, 21b) befestigten Kunststofffolien (19a, 19b) gebildet sein. Zwischen die beiden Folien können über Anschlußstutzen (22a, 22b) Hilfsmedien eingebracht werden. Zur Beleuchtung des Oberflächenbereichs kann eine Ringleuchte (14) dienen.</p> |
