发明名称 NANOPOROUS SILICA DIELECTRIC FILMS MODIFIED BY ELECTRON BEAM EXPOSURE AND HAVING LOW DIELECTRIC CONSTANT AND LOW WATER CONTENT
摘要
申请公布号 EP1050075(A1) 申请公布日期 2000.11.08
申请号 EP19990903196 申请日期 1999.01.19
申请人 ALLIEDSIGNAL INC. 发明人 YANG, JINGJUN;DRAGE, JAMES, S.;FORESTER, LYNN
分类号 B05D3/06;B05D5/12;H01L21/027;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 B05D3/06
代理机构 代理人
主权项
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