发明名称 |
Surface inspection device |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2349693(A) |
申请公布日期 |
2000.11.08 |
申请号 |
GB20000013796 |
申请日期 |
1999.04.06 |
申请人 |
* ADVANTEST CORPORATION |
发明人 |
MASAO * WATANABE;AKIKO * OKUBO |
分类号 |
G01B11/30;G01N21/21;G01N21/94;G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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