偏振光直线位移检测方法和传感器

摘要

一种偏振光直线位移检测方法和传感器，将被测量的直线位移Ｘ，通过机械转换机构，转换为与之具有某种函数关系的角位移θ，θ在偏振光检测系统中构成起偏器与检偏器透光轴间的夹角，θ与透过检偏器的光强Ｉ的关系即Ｉ＝Ｉｏｃｏｓ²θ,Io为光源强度,经光电变换的电信号V_i也是θ与X的函数,将V_i经电子线路处理，得到一个与Ｘ成正比的输出电信号Ｖ_ｏ。本发明用机械结构来校正光学部分固有的非线性，灵敏度高，动态范围大，电子线路简化。

主权项

1.一种偏振光直线位移检测方法，其特征是：将被测量的直线位移X，通过机械转换机构[1]，转换为与之具有函数关系的角位移θ，此角位移θ在偏振光检测系统[2]中则构成了偏振光之起偏器与检偏器透光轴间的夹角，根据光学上的马吕斯定律，角位移θ与透过检偏器的光强I之间具有确定的关系即I＝Iocos2θ，其中Io为光源强度，通过光电变换电路[3]接收光强I得到电信号Vi，它也是角位移θ与直线位移x的函数，将电信号Vi经过电子线路[4]的处理，最终得到一个与直线位移X成正比的输出电信号Vo。