离子溅射渗金属的方法

摘要

一种离子溅射渗金属的方法，其特征在于：将金属靶放在辉光放电离子轰出热处理炉的阴极上；将与电报完全绝缘的工件置于金属靶附近；将炉闪气压抽至可产生辉光放电的范围；将热处理炉的工作电压调至８００伏以上，额定工作电压以下，同时通入少量氨气；将靶和工件温度调至９００℃以上，靶材和工件熔点温度以下，保温。本发明的优点：由于本发明是在普通的离子轰出热处理炉内实现渗金属内，从而使得实现渗金属的设备条件容易得到满足；操作简便，质量也能够满足要求。

主权项

1.一种离子溅射渗金属的方法，其特征在于：a)将金属靶放在辉光放电离子轰出热处理炉的阴极上；b)将与电极完全绝缘的工件置于金属靶附近；c)将炉内气压抽至可产生辉光放电的范围；d)将热处理炉的工作电压调至800伏以上，额定工作电压以下，同时通入少量氨气；a)将靶和工件温度调至900℃以上，靶材和工件熔点温度以下，保温。