| 发明名称 |
Semiconductor device and process for producing the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0584777(B1) |
申请公布日期 |
2000.11.08 |
| 申请号 |
EP19930113472 |
申请日期 |
1993.08.24 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KUMOMI, HIDEYA;YONEHARA, TAKAO;SATO, NOBUHIKO |
| 分类号 |
H01L21/02;G01N27/00;H01L21/306;H01L27/12;H01L33/06;H01L33/08;H01L33/12;H01L33/30;H01L33/34;H01L33/42;(IPC1-7):H01L33/00 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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