| 发明名称 |
Method of forming a fine pattern |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0304077(B1) |
申请公布日期 |
2000.11.08 |
| 申请号 |
EP19880113503 |
申请日期 |
1988.08.19 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
OKUMA, KATSUYA;WATANABE, TOHRU |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/31;H01L21/768;G03F7/26 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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