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发明名称
摘要
申请公布号 JP3107024(B2) 申请公布日期 2000.11.06
申请号 JP19970339037 申请日期 1997.12.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/28;H01L21/30;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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