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发明名称 RASTER SHAPED BEAM WRITING STRATEGY SYSTEM AND METHOD FOR PATTERN GENERATION
摘要
申请公布号 KR20000064801(A) 申请公布日期 2000.11.06
申请号 KR1019980707705 申请日期 1998.09.28
申请人 发明人
分类号 H01J37/30 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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