| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT REWIRING USING GAS-ASSISTED FOCUSED ION BEAM (FIB) ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1048071(A1) |
申请公布日期 |
2000.11.02 |
| 申请号 |
EP19990952582 |
申请日期 |
1999.10.08 |
| 申请人 |
FEI COMPANY;KONINKL PHILIPS ELECTRONICS NV |
发明人 |
CHANDLER, CLIVE, D. |
| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/317;H01L21/302;H01L21/311;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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