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发明名称
Scan type projection exposure apparatus and device manufacturing method using the same
摘要
申请公布号
EP0785472(B1)
申请公布日期
2000.11.02
申请号
EP19970300181
申请日期
1997.01.14
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
MISHIMA, KAZUHIKO
分类号
G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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