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发明名称 ETCHING METHODS FOR ANISOTROPIC PLATINUM PROFILE
摘要
申请公布号 EP1048064(A1) 申请公布日期 2000.11.02
申请号 EP19980963259 申请日期 1998.12.17
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 HWANG, JENG, H.
分类号 C23F4/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/8246;H01L27/105;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/321 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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