| 摘要 |
Es wird eine optische Positionsmesseinrichtung angegeben, die eine Messteilung und eine relativ dazu in einer Messrichtung bewegliche Abtasteinheit umfasst. Zur Abtasteinheit wiederum gehören eine Lichtquelle, eine im Abstand DLQ von der Lichtquelle entfernt angeordnete Sendeteilung, eine Abtastteilung mit der Teilungsperiode PAT, auf der im Fall der Relativbewegung von Abtasteinheit und Messteilung ein periodisches Streifenmuster mit der Streifenmusterperiode PSM resultiert sowie eine im Abstand DDET von der Abtastteilung entfernt angeordnete Detektoranordnung mit mehreren Blöcken aus einzelnen Detektorelementen, wobei die Blöcke im Messrichtung periodisch mit der Detektorperiode PDET angeordnet sind. Die Sendeteilung weist den Abstand u von der Messteilung auf, die Messteilung weist den Abstand v von der Abtastteilung auf. Die Detektorperiode PDET eird gemäss der Beziehung PDET=m*I*Pv gewählt, wobei m=(1+DDET/(u+v+DLQ) und I = 1, 2, 3, ... gilt. Mit Pv wird die Vernier-Periode in der Ebene der Abtastteilung bezeichnet, die sich gemäss 1/Pv = |1/PSM-1/PAT DOLLAR verbar; ergibt.
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