| 主权项 |
1.一种处理薄片周边部份之方法,包含下列步骤: 以具有圆形自由端及突出至该薄片以便处理该薄 片之接触周边部份之工具处理部件接触该薄 片;及 在该工具及薄片之一之方向中移动至少选自该工 具及薄片之另一个,该移动平行于该薄片之 主要表面及位于该另一个之方向中,该移动方向正 交于该薄片之主要表面,以便将该薄片周 边部份及该工具处理部件间之一接触点改变至另 一接触点,及处理该薄片周边部份之已改变 接触点。2.根据申请专利范围第1项之处理薄片周 边部份之方法,其中藉着在正交于该工具及薄片之 一之方向中进一步移动至少选自该工具及薄片之 另一个以施行该移动步骤,该移动平行于该 薄片之主要表面及平行于该另一个之方向,该方向 正交于该薄片之主要表面。3.根据申请专利范围 第1或2项之处理薄片周边部份之方法,其中该工具 之处理部件包含一上 下表面彼此平行之平坦部份。4.一种处理薄片周 边部份之方法,包含下列步骤: 以一工具之处理部件接触该薄片,该处理部件具有 一设有圆形底部之沟槽,俾能以该处理部 件由彼此不同之三个方向围绕着该薄片之周边部 份,以便处理该薄片之接触周边部份;及 在该工具及薄片之一之方向中移动至少选自该工 具及薄片之另一个,该移动平行于该薄片之 主要表面及位于该另一个之方向中,该移动正交于 该薄片之主要表面,以便将该薄片周边部 份及该工具处理部件间之一接触点改变至另一接 触点,及处理该薄片周边部份之已改变接触 点。5.根据申请专利范围第4项之处理薄片周边部 份之方法,其中藉着在正交于该工具及薄片之 一之方向中进一步移动至少选自该工具及薄片之 另一个以施行该移动步骤,该移动平行于该 薄片之主要表面及平行于该另一个之方向,该方向 正交于该薄片之主要表面。6.一种处理薄片周边 部份之装置,包含: 具有一设有圆形自由端及突出至该薄片之处理部 件之工具; 一用以接触该薄片与该工具之处理部件以便处理 该薄片之接触周边部份之接触装置;及 一移动装置,该移动装置在该工具及薄片之一之方 向中移动至少选自该工具及薄片之另一个 ,该移动平行于该薄片之主要表面及位于该另一个 之方向中,该移动正交于该薄片之主要表 面,以便将该薄片周边部份及该工具处理部件间之 一接触点改变至另一接触点,及处理该薄 片周边部份之已改变接触点。7.根据申请专利范 围第6项之处理薄片周边部份之装置,其中该移动 装置在正交于该工具及 薄片之一之方向中进一步移动至少选自该工具及 薄片之另一个,该移动平行于该薄片之主要 表面及平行于该另一个之方向,该方向正交于该薄 片之主要表面。8.根据申请专利范围第6或7项之处 理薄片周边部份之装置,其中该工具之处理部件包 含一上 下表面彼此平行之平坦部份。9.一种处理薄片周 边部份之装置,包含: 具有一设有圆形底部之沟槽之处理部件之工具; 一用以接触该薄片与该工具之处理部件之接触装 置,俾能以该处理部件由彼此不同之三个方 向围绕着该薄片之周边部份,以便处理该薄片之接 触周边部份;及 一移动装置,该移动装置在该工具及薄片之一之方 向中移动至少选自该工具及薄片之另一个 ,该移动平行于该薄片之主要表面及位于该另一个 之方向中,该移动正交于该薄片之主要表 面,以便将该薄片周边部份及该工具处理部件间之 一接触点改变至另一接触点,及处理该薄 片周边部份之已改变接触点。10.根据申请专利范 围第9项之处理薄片周边部份之装置,其中该移动 装置在正交于该工具及 薄片之一之方向中进一步移动至少选自该工具及 薄片之另一个,该移动平行于该薄片之主要 表面及平行于该另一个之方向,该方向正交于该薄 片之主要表面。图式简单说明: 第一图系根据本发明概要地显示该削角装置(一处 理装置)实施例之一视图; 第二图显示第一图所示削角装置之一方块图; 第三图系根据第一范例显示置于该削角装置中之 晶圆接触该磨轮之一种状态之视图; 第四图系根据第二范例显示该晶圆接触该磨轮之 一种状态之视图; 第五图系根据第三范例显示该晶圆接触该磨轮之 一种状态之视图; 第六图系根据第四范例显示该晶圆接触该磨轮之 一种状态之视图; 第七图系根据早先之发展概要地显示一削角装置 之视图;及 第八图系根据早先之发展概要地显示另一削角装 置之视图。 |
