发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR100268513(B1) |
申请公布日期 |
2000.11.01 |
申请号 |
KR19930026003 |
申请日期 |
1993.12.01 |
申请人 |
SONY CORPORATION |
发明人 |
NAGAYAMA, TETSUJI;TATSUMI, TETSUYA |
分类号 |
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/677;H01L21/683;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|