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发明名称 METHOD OF CLEANING A CVD COLD-WALL CHAMBER AND EXHAUST LINES
摘要
申请公布号 EP1047808(A1) 申请公布日期 2000.11.02
申请号 EP19980957860 申请日期 1998.11.12
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 COMITA, PAUL, B.;FORSTNER, HALI, J., L.;RANGANATHAN, REKHA
分类号 B01J3/00;B01J19/00;C23C16/44;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
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