发明名称 DEVICE FOR VAPORIZING MOCVD SOURCE
摘要
申请公布号 KR100267972(B1) 申请公布日期 2000.11.01
申请号 KR19980024116 申请日期 1998.06.25
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 JO, WILLIAM
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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