| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR TREATING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100265104(B1) |
申请公布日期 |
2000.11.01 |
| 申请号 |
KR19970081835 |
申请日期 |
1997.12.31 |
| 申请人 |
DAI NIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. |
发明人 |
SHIMA YASUMASA |
| 分类号 |
G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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