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经营范围
发明名称
ELECTRODE ASSEMBLY FOR SEMICONDUCTOR DRY ETCHER
摘要
申请公布号
KR200198433(Y1)
申请公布日期
2000.11.01
申请号
KR19970021491U
申请日期
1997.08.05
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
NOH, TAE HO
分类号
H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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