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发明名称
METHOD FOR ALIGNING A WAFER OR RATICLE IN A STAPER
摘要
申请公布号
KR100268177(B1)
申请公布日期
2000.11.01
申请号
KR19980023758
申请日期
1998.06.23
申请人
KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE
发明人
SOHN, YEUNG JOON;KIM, DOH HOON;CHUNG, HAI BIN;PARK, HEUNG OK;KIM, BO WOO
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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