发明名称 MODULAR SURFACE MOUNT MASS FLOW AND PRESSURE CONTROLLER
摘要 <p>Le dispositif de commande modulaire de débit massique et de pression selon la présente invention comprend un capteur de débit modulaire et une soupape de régulation modulaire. Le capteur de débit modulaire mesure la quantité de gaz qui s'écoule dans un ensemble modulaire à gaz et la soupape de régulation modulaire ajuste et commande le débit du gaz dans l'ensemble modulaire à gaz. Le capteur de débit modulaire et la soupape de régulation modulaire sont tous les deux montés sur une surface d'une base modulaire.</p>
申请公布号 WO2000063757(A1) 申请公布日期 2000.10.26
申请号 US2000010041 申请日期 2000.04.13
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
地址