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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE ARRANGED TO SELECT NEUTRAL IONS FROM THE ION BEAM AND METHODE
摘要
申请公布号 EP1046183(A1) 申请公布日期 2000.10.25
申请号 EP19990944628 申请日期 1999.09.08
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 POLITIEK, JARIG;VAN HOFTEN, GERRIT, C.
分类号 C23C14/48;H01J37/09;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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