| 发明名称 |
Light intensity measuring system |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0884651(A3) |
申请公布日期 |
2000.10.25 |
| 申请号 |
EP19980108864 |
申请日期 |
1998.05.15 |
| 申请人 |
CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG, TRADING AS CARL ZEISS |
发明人 |
BADER, DIETER |
| 分类号 |
G01J1/02;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G01J1/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
